| 000 | 00988nam a2200205 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 999 |
_c1538493 _d1538475 |
||
| 003 | AM-YeNLA | ||
| 005 | 20230526070417.0 | ||
| 008 | 190321s1979 ru ||||fr|||||00||0|rus|| | ||
| 040 |
_aAM-YeNLA _brus _cAM-YeNLA |
||
| 041 | 0 | _arus | |
| 080 | _a621.38(NLA) | ||
| 100 | _a Масленников, Павел Николаевич | ||
| 245 | 1 | 0 |
_a Оптимизация структуры линий полупроводникового производства при их проектировании / _cП.Н. Масленников, В.В. Сысоев. |
| 260 |
_aГорький : _b Изд-во Воронеж. ун-та, _c1979. |
||
| 300 |
_a 107 с. : _b ил. ; _c 20 см. |
||
| 504 | _a Библиогр.: с. 103-106 (59 назв.): | ||
| 650 | 1 | 4 |
_a Поточные линии в приборостроении _v Проектирование _xМатематические методы |
| 700 | 1 | _aСысоев, Валерий Васильевич | |
| 942 |
_2udc _cBK |
||