000 00999nam a2200241 a 4500
999 _c1538390
_d1538372
003 AM-YeNLA
005 20190321123923.0
008 190321s1975 ru d||||r|||||001|0|rus||
040 _aAM-YeNLA
_brus
_cAM-YeNLA
041 0 _arus
080 _a621.38 (NLA)
100 1 _aЗамора, Евгений Федорович
245 1 0 _aТехнологическая гигиена в производстве микросхем /
_cЕ.Ф. Замора, М.Д. Матвийкив.
260 _aЛьвов :
_bКаменяр,
_c1975.
300 _a136 с. :
_bчерт., табл. ;
_c20 см.
490 0 _aБПО. Технология производства
504 _aСписок лит.: с. 132-133
650 1 4 _aЭлектронная техника
650 1 4 _aМикроэлектронные схемы, интегральные
_xПроизводство
700 1 _aМатвийкив, Михаил Дмитриевич
942 _2udc
_cBK
998 _cNLAVARDUSH_27