000 | 00999nam a2200241 a 4500 | ||
---|---|---|---|
999 |
_c1538390 _d1538372 |
||
003 | AM-YeNLA | ||
005 | 20190321123923.0 | ||
008 | 190321s1975 ru d||||r|||||001|0|rus|| | ||
040 |
_aAM-YeNLA _brus _cAM-YeNLA |
||
041 | 0 | _arus | |
080 | _a621.38 (NLA) | ||
100 | 1 | _aЗамора, Евгений Федорович | |
245 | 1 | 0 |
_aТехнологическая гигиена в производстве микросхем / _cЕ.Ф. Замора, М.Д. Матвийкив. |
260 |
_aЛьвов : _bКаменяр, _c1975. |
||
300 |
_a136 с. : _bчерт., табл. ; _c20 см. |
||
490 | 0 | _aБПО. Технология производства | |
504 | _aСписок лит.: с. 132-133 | ||
650 | 1 | 4 | _aЭлектронная техника |
650 | 1 | 4 |
_aМикроэлектронные схемы, интегральные _xПроизводство |
700 | 1 | _aМатвийкив, Михаил Дмитриевич | |
942 |
_2udc _cBK |
||
998 | _cNLAVARDUSH_27 |