| 000 | 01173nam a2200229 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 999 |
_c1538297 _d1538279 |
||
| 003 | AM-YeNLA | ||
| 005 | 20230526194847.0 | ||
| 008 | 190321s1979 bw ||||fr|||||00||0|rus|| | ||
| 040 |
_aAM-YeNLA _brus _cAM-YeNLA |
||
| 041 | 0 | _arus | |
| 080 | _a621.38(NLA) | ||
| 100 | 1 | _a Колешко, Владимир Михайлович | |
| 245 | 1 | 0 |
_a Контроль в технологии микроэлектроники / _cВ.М. Колешко, П.П. Гойденко, Л.Д. Буйко ; Акедемия наук Белорусской ССР, институт электроники. |
| 260 |
_aМинск : _bНаука и техника, _c 1979. |
||
| 300 |
_a312 с. : _b ил. ; _c22 см. |
||
| 504 | _aБиблиогр.: с. 293-310 (736 назв.): | ||
| 650 | 1 | 4 |
_a Микроэлектронные схемы, интегральные, большие _v Производство _x Технический |
| 700 | 1 | _aГойденко, Петр Петрович | |
| 700 | 1 | _a Буйко, Лев Дмитриевич | |
| 710 |
_a Акедемия наук Белорусской ССР : _b Институт электроники |
||
| 942 |
_2udc _cBK |
||