000			01070nam a2200229 a 4500
999			_c1537947 _d1537929
003			AM-YeNLA
005			20190320151500.0
008			190320s1971 ru a|||fr||||u000|0|rus||
040			_aAM-YeNLA _brus _cAM-YeNLA
041	0		_arus
044			_aru
080			_a621.38
100	1		_aЕсипова, Маргарита Андреевна
245	1	0	_aХимическая обработка полупроводниковых материалов / _cМ. Е. Есипова ; Министерство электронной промышленности СССР.
260			_aМосква : _b[б. и.], _c1971.
300			_a95 с. : _bил. ; _c21 см.
490	0		_aОбзоры по электронной технике ; _aСерия: Технология и организация производства ; _vВып. 12 (285).
650	1	4	_aПолупроводниковые материалы.
710	2		_aМинистерство электронной промышленности СССР.
942			_2udc _cBK
998			_cNLAACRosaPeriodicals