000 01070nam a2200229 a 4500
999 _c1537947
_d1537929
003 AM-YeNLA
005 20190320151500.0
008 190320s1971 ru a|||fr||||u000|0|rus||
040 _aAM-YeNLA
_brus
_cAM-YeNLA
041 0 _arus
044 _aru
080 _a621.38
100 1 _aЕсипова, Маргарита Андреевна
245 1 0 _aХимическая обработка полупроводниковых материалов /
_cМ. Е. Есипова ; Министерство электронной промышленности СССР.
260 _aМосква :
_b[б. и.],
_c1971.
300 _a95 с. :
_bил. ;
_c21 см.
490 0 _aОбзоры по электронной технике ;
_aСерия: Технология и организация производства ;
_vВып. 12 (285).
650 1 4 _aПолупроводниковые материалы.
710 2 _aМинистерство электронной промышленности СССР.
942 _2udc
_cBK
998 _cNLAACRosaPeriodicals