000 01246nam a2200253 a 4500
999 _c1537683
_d1537665
003 AM-YeNLA
005 20190320115956.0
008 190320s1975 ru a|||fr|||||000|||rus||
040 _aAM-YeNLA
_brus
_cAM-YeNLA
041 0 _arus
080 _a621.38 (NLA)
100 1 _aВоробьев, Н.Н.
245 1 0 _aМашинное проектирование полупроводниковых приборов и интегральных схем /
_cН.Н. Воробьев, Ю.С. Рябкин, Я.А. Федотов ; Мин. электронной промышл. СССР.
260 _aМосква :
_bЦНИИ «Электроника»,
_c1975.
300 _a34 с. :
_bилл. ;
_c21 см.
490 0 _aОбзоры по электронной технике
_vСерия : Полупроводниковые приборы
_vВыпуск 2 (277)
650 1 4 _aМашинное проектирование
650 1 4 _aПолупроводниковая электроника и микроэлектроника
700 1 _aРябкин, Ю.С.
700 1 _aФедотов, Я.А.
710 2 _aМинистерство электронной промышленности
942 _2udc
_cBK