| 000 | 00878nam a2200217 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 999 |
_c1537674 _d1537656 |
||
| 003 | AM-YeNLA | ||
| 005 | 20190320115331.0 | ||
| 008 | 190320s1985 ru d||||r|||||001|0|rus|| | ||
| 040 |
_aAM-YeNLA _brus _cAM-YeNLA |
||
| 041 | 1 | _arus | |
| 080 | _a621.38 (NLA) | ||
| 100 | 1 | _aГрищенко, Анатолий Федорович | |
| 245 | 1 | 0 |
_aИонное легирование в микроэлектронике : _bУчебное пособие для средних ПТУ / _cА.Ф. Грищенко. |
| 260 |
_aМосква : _bВысшая школа, _c1985. |
||
| 300 |
_a48 с. : _bчерт., табл. ; _c20 см. |
||
| 490 | 0 | _aПрофессионально-техническое образование | |
| 504 | _aБиблиогр.: с. 47-48 (9 назв.) | ||
| 650 | 1 | 4 | _aМикроэлектроника |
| 942 |
_2udc _cBK |
||
| 998 | _cNLAVARDUSH_27 | ||