| 000 | 01341nam a2200229 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 999 |
_c1534571 _d1534553 |
||
| 003 | AM-YeNLA | ||
| 005 | 20190313121214.0 | ||
| 008 | 190313s1971 ru d||||r|||||00| 0|rus|| | ||
| 040 |
_aAM-YeNLA _brus _cAM-YeNLA |
||
| 041 | 0 | _arus | |
| 245 | 0 | 0 |
_aНекоторые вопросы применения голографии в фотолитографических процессах / _cН.М. Ионина, В.Н. Славинская, Б.В. Телешов, В.Е. Фридман ; М-во электронной пром-сти СССР. Ин-т ЦНИИ "Электроника". |
| 260 |
_aМосква : _bИнститут ЦНИИ "Электроника", _c1971. |
||
| 300 |
_a41 с. : _bил. ; _c21 см. |
||
| 490 | 1 |
_aОбзоры по электронной технике. Серия: Технология и организация производства ; _v№ 9 (Вып. 281) |
|
| 504 | _aБиблиогр.: с. 39-40 | ||
| 700 | 1 | _aИонина, Наталья Миркирьевна | |
| 700 | 1 | _aСлавинская, В.Н. | |
| 700 | 1 | _aТелешов, Б.В. | |
| 700 | 1 | _aФридман, В.Е. | |
| 830 | 0 |
_aОбзоры по электронной технике. Серия: Технология и организация производства ; _v№ 9 (Вып. 281) |
|
| 942 |
_2udc _cBK |
||