000			01139nam a2200253 a 4500
999			_c1453526 _d1453508
003			AM-YeNLA
005			20190212153652.0
008			190212s1976 ru a|||fr||||u000|0|rus||
040			_aAM-YeNLA _brus _cAM-YeNLA
041	0		_arus
044			_aru
080			_a621.315
100	1		_aКомов, Александр Николаевич
245	0	0	_aТехнология размерной обработки полупроводниковых материалов : _bУчебное пособие / _cА. Н. Комов, А. И. Колпаков, Б. Д. Рафаевич, Л. Л. Дорофеев ; Куйбышевский государственный университет.
260			_aКуйбышев : _bКуйбышев. ун-т, _c1976.
300			_a83 с. : _bил. ; _c20 см.
650	1	4	_aПолупроводники _xОбработка.
700	1		_aКолпаков, А. И.
700	1		_aРафаевич, Б. Д.
700	1		_aДорофеев, Л. Л.
710	2		_aКуйбышевский государственный университет.
942			_2udc _cBK
998			_cNLAACPeriodicals