| 000 | 00871nam a2200205 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 999 |
_c1453130 _d1453112 |
||
| 003 | AM-YeNLA | ||
| 005 | 20190211122621.0 | ||
| 008 | 190211s1974 ru |||||r|||| 00| ||rus|| | ||
| 040 |
_aAM-YeNLA _brus _cAM-YeNLA |
||
| 041 | 0 | _arus | |
| 100 | 1 | _aТитов, В.В. | |
| 245 | 1 | 0 |
_aИмплантационное легирование полупроводников / _cВ.В. Титов ; М-во электронной пром-сти СССР. ЦНИИ "Электроника". |
| 260 |
_aМосква : _bБ. и., _c1974-. |
||
| 300 |
_aЧ. ; _c21 см. |
||
| 490 | 1 |
_aОбзоры по электронной технике : _vВып. 10(223) |
|
| 505 | 0 | 0 | _gЧ. 1. (1974 ; 63 с.) |
| 650 | 1 | 4 | _aПолупроводниковые приборы |
| 830 | 0 |
_aОбзоры по электронной технике : _vВып. 10(223) |
|
| 942 |
_2udc _cBK |
||