| 000 | 00789nam a2200193 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 999 |
_c1450827 _d1450809 |
||
| 003 | AM-YeNLA | ||
| 005 | 20190206110828.0 | ||
| 008 | 190206s1974 ru fr 000 0 rus d | ||
| 040 |
_aAM-YeNLA _brus _cAM-YeNLA |
||
| 041 | 0 | _arus | |
| 100 | 1 | _aДорфман, Вениамин Фриделевич | |
| 245 | 1 | 0 |
_aГазофазная микрометаллургия полупроводников / _cВ.Ф. Дорфман. |
| 260 |
_aМосква : _bМеталлургия, _c1974. |
||
| 300 |
_a190 с. : _bил., табл.; _c21 см. |
||
| 504 | _bБиблиогр.: с. 179 (300 назв.) | ||
| 650 | 1 | 4 |
_aМикрометаллургия _xГазофазная микрометаллургия полупроводников |
| 942 |
_2udc _cBK |
||
| 998 | _cNLARUZANNA_11 | ||