000 01144nam a2200229 a 4500
999 _c1448880
_d1448862
003 AM-YeNLA
005 20190201113452.0
008 190201s1985 ru ||||fr|||| 00| 0 rus d
040 _aAM-YeNLA
_brus
_cAM-YeNLA
041 0 _arus
100 1 _aАкчурин, Рауф Хамзинович
245 1 0 _aТехнология полупроводниковых материалов :
_bУчеб. пособие /
_cР. Х. Акчурин ; М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Моск. ин-т хим. машиностроения.
260 _aМосква :
_bМИХМ,
_c1985.
300 _a65 с. :
_bил. ;
_c20 см.
500 _aНа обл. авт. не указан
504 _aБиблиогр.: с. 65 (8 назв.)
650 1 4 _aРадиоактивные изотопы
_xПрименение
710 2 _aМинистерство высшего и среднего специального образования РСФСР
710 2 _aМосковский институт химического машиностроения
942 _2udc
_cBK
998 _cNLA_MARINE_12