| 000 | 01281-am-a2200241-a-4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000163628 | ||
| 005 | 20190422140444.0 | ||
| 008 | 970708s1984 xxu 000 0 rus u | ||
| 040 | _aAM, AiYeEPHG, 19990121 | ||
| 245 | 1 | 0 |
_aРаспыление твердых тел ионной бомбардировкой : _bФизическое распыление одноэлементных твердых тел / _c[Р. Бериш, П. Зигмунд, М. Робинсон и др.] ; Под ред. Р. Бериша. |
| 246 | 1 | 1 | _aSputtering by Particle Bombardment |
| 260 |
_aМосква : _bМир , _c1984. |
||
| 300 |
_a336 с. : _bил. ; _c22 см. |
||
| 440 | 0 | _aПроблемы прикладной физики | |
| 500 | _a\Авт. указаны в огл. | ||
| 500 | _aПеревод изд.: Sputtering by particle bombardment. 1 / With contributions by H. H. Andersen, H. Z. Bay, R. Behrisch et. al. (Berlin etc., 1981) | ||
| 650 | 1 | 4 | _aВзаимодействие с поверхностью твердых тел |
| 650 | 1 | 4 | _aДействие ионизирующих излучений |
| 650 | 1 | 4 | _aИоны |
| 650 | 1 | 4 | _aТвердые тела |
| 700 | 1 |
_aБериш, Райнер _eред. _4edt |
|
| 700 | 1 |
_aМолчанов, В.А. _eпер. _4trl |
|
| 999 |
_c133919 _d133919 |
||