| 000 | 00695nam a2200169 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000159018 | ||
| 005 | 20210815185433.0 | ||
| 008 | 990613s1973 ||||||||||||||||||||rus d | ||
| 040 | _aAM, AiYeEPHG, 99/06/13 | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 100 | 1 | _aМинаков, Валерий Иванович | |
| 245 | 1 | 0 |
_aПроизводство тонкопленочных микросхем : _bУчебное пособие / _cВ.И. Минаков, М.З. Коган. |
| 260 |
_aЛенинград : _bЭнергия. Ленингр. отд-ние, _c1973. |
||
| 300 | _a176 с. | ||
| 650 | 1 | 4 | _aТонкопленочные микросхемы |
| 700 | 1 | _aКоган, Михаил Залманович | |
| 999 |
_c129624 _d129624 |
||