| 000 | 00768nam a22001937a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 003 | AM-YeNLA | ||
| 005 | 20171201154506.0 | ||
| 008 | 170929b xxu||||| |||| 00| 0 rus d | ||
| 040 |
_aAM-YeHGA _cAM-YeHGA |
||
| 041 | 0 | _arus | |
| 100 | 1 | _aЧистяков, Юрий Дмитриевич | |
| 245 | 1 | 0 |
_aФизико-химические основы технологии микроэлектроники : _bУчебное пособие для вузов / _cЮ.Д. Чистяков, Ю.П. Райнова. |
| 260 |
_aМосква : _bМеталлургия, _c1979. |
||
| 300 |
_a408 с. : _bил., табл. |
||
| 504 | _aБиблиогр.: с. 400 - 403 | ||
| 650 | 1 | 4 | _aМикроэлектроника |
| 700 | 1 | _aРайнова, Ю.П. | |
| 942 |
_2udc _cBK |
||
| 999 |
_c1192131 _d1192113 |
||