| 000 | 00804nam a2200193 u 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000146656 | ||
| 005 | 20230828071400.0 | ||
| 008 | 030329s1990 ||||||||||||||||||||rus c | ||
| 020 | _a5-343-00522-5 | ||
| 040 | _aAM, AiYeEPHG, 99/06/12 | ||
| 100 | 1 | _aПархутик, Виталий Петрович. | |
| 245 | 1 | 0 |
_aПлазменное анодирование : _bФизика, техника, применение в микроэлектронике / _cВ.П. Пархутик, В.А. Лабунов. |
| 260 |
_aМинск : _bНавука i тэхнiка, _c1990. |
||
| 300 |
_a279,[1] с. ; _c22 см. |
||
| 504 | _aБиблиогр.: с. 252 - 276 (555 назв.) | ||
| 650 | 1 | 4 | _aМашиностроение |
| 700 | 1 | _aЛабунов, Владимир Архипович | |
| 999 |
_c118420 _d118420 |
||
| 942 | _cBK | ||