| 000 | 01065nam a2200217 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000146653 | ||
| 005 | 20230828071358.0 | ||
| 008 | 030329s1987 ||||||||||||||||||||rus c | ||
| 040 | _aAM, AiYeEPHG, 99/06/02 | ||
| 245 | 0 | 0 |
_aПлазменная технология в производстве СБИС / _cД. Толливер и др. ; Под ред. Н. Айнспрука, Д. Брауна ; Пер. с англ. Ю.М. Золотарева и др., под ред. Е.С. Машковой. |
| 260 |
_aМосква : _bМир, _c1987. |
||
| 300 |
_a470 с. : _bил. |
||
| 534 |
_pОригинал на англ. : _iVLSI Electronics Microstruture Science / _aNorman G. Einspruch, Dale M. Brown- _cNew York : Academic Press, Inc. : 1984 |
||
| 650 | 1 | 4 | _aЭлектроника |
| 700 | 1 | _aТолливер, Дональд | |
| 700 | 1 |
_aЗолотарев, Ю.М. _eпер. _4trl |
|
| 700 | 1 |
_aМашкова, Е.С. _eред. _4edt _eпер. _4trl |
|
| 700 | 1 |
_aАйнспрук, Н. _eред. _4edt |
|
| 700 | 1 |
_aБраун, Д. _eред. _4edt |
|
| 999 |
_c118417 _d118417 |
||
| 942 | _cBK | ||