000 00674nam a2200169 a 4500
001 000141757
005 20230827141314.0
008 030329s1979 ||||||||||||||||||||rus d
040 _aAM, AiYeEPHG, 19981214
245 0 0 _aОсновы эллипсометрии /
_cАН СССР. СО. Ин-т физики полупроводников ; Отв. ред. А.В. Ржанов.
260 _aНовосибирск :
_bНаука. Сиб. отд-ние,
_c1979.
300 _a424 с.
650 1 4 _aФизика
700 1 _aРжанов, А.В.
_eред.
_4edt
710 2 _aИнститут физики полупроводников СО АН СССР
999 _c114145
_d114145
942 _cBK