000 00914nam a2200181 u 4500
001 000141403
005 20230827141210.0
008 030329s1988 ||||||||||||||||||||rus d
040 _aAM, AiYeEPHG, 99/06/23
100 1 _aОстробородова, Валентина Васильевна
245 1 0 _aОсновы технологии и материаловедения полупроводников /
_cВ.В. Остробородова ; МГУ им. М.В. Ломоносова. Физический фак.
260 _aМосква :
_bИзд-во Моск. ун-та,
_c1988.
300 _a98 с. ;
_c20 см.
504 _aБиблиогр.: с. 98 (20 назв.)
650 1 4 _aПолупроводники
710 2 _aМосковский государственный университет им. М.В. Ломоносова.
_bФизический факультет
_9231876
999 _c113819
_d113819
942 _cBK