| 000 | 00670nam a2200181 u 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000138932 | ||
| 005 | 20230827132506.0 | ||
| 008 | 030329s1970 ||||||||||||||||||||rus d | ||
| 040 | _aAM, AiYeEPHG, 99/11/27 | ||
| 245 | 0 | 0 |
_aОсаждение из газовой фазы : _bСокр. пер. с англ. / _cПер. М.И. Юрченко ; Под ред. К. Пауэлла и др. |
| 246 | 3 | 5 | _aVapor Deposition |
| 260 |
_aМосква : _bАтомиздат, _c1970. |
||
| 300 | _a472 с. | ||
| 650 | 1 | 4 | _aХимическая технология |
| 700 | 1 |
_aЮрченко, М.И. _eпер. _4trl |
|
| 700 | 1 |
_aПауэлл, К. _eред. _4edt |
|
| 999 |
_c111534 _d111534 |
||
| 942 | _cBK | ||