| 000 | 00987nam a2200205 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000137242 | ||
| 005 | 20230827131301.0 | ||
| 008 | 950417s1989 ||||||||||||||||||||rus d | ||
| 020 | _a5-343-00087-8 | ||
| 040 | _aAM, AiYeEPHG, 99/10/04 | ||
| 100 | 1 | _aЧехович, Евгений Казимирович | |
| 245 | 1 | 0 |
_aОптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники / _cЕ.К. Чехович ; Отв. ред. В.А. Пилипович ; АН БССР. Ин-т электроники. |
| 260 |
_aМинск : _bНаука и техника, _c1989. |
||
| 300 |
_a212,[1] с. ; _c20 см. |
||
| 504 | _aБиблиогр.: с. 200-211 (267 назв.) | ||
| 650 | 1 | 4 | _aЭВМ вообще |
| 700 | 1 |
_aПилипович, Владимир Антонович _eред. _4edt |
|
| 710 | 2 | _aИнститут электроники АН БССР | |
| 999 |
_c110017 _d110017 |
||
| 942 | _cBK | ||