| 000 | 00880nam a2200193 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000924732 | ||
| 003 | AM-YeNLA | ||
| 005 | 20241023073633.0 | ||
| 008 | 121105s1990 frm 000 0 rus d | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 100 | 1 |
_aКремлов, Вячеслав Яковлевич _9191458 |
|
| 245 | 1 | 0 |
_aФункционально-интегрированные структуры базовых элементов полупроводниковых интергральных схем : _bАвтореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / _cМИЭТ. |
| 260 |
_aМосква, _c1990. |
||
| 300 | _a58 с. | ||
| 650 | 1 | 4 |
_aТвердотельная электроника, микроэлектроника _9169953 |
| 655 | 0 |
_aThesis _9144282 |
|
| 710 | 2 |
_aМосковский институт электронной техники _9191333 |
|
| 999 |
_c1076627 _d1076627 |
||
| 942 | _cTH | ||