| 000 | 00630nam a2200169 u 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000134293 | ||
| 005 | 20230827125526.0 | ||
| 008 | 990616s1970 ||||||||||||||||||||rus d | ||
| 040 | _aAM, AiYeEPHG, 99/06/16 | ||
| 100 | 1 | _aФайнштейн, Семен Меерович | |
| 245 | 1 | 0 |
_aОбработка и защита поверхности полупроводниковых приборов / _cС.М. Файнштейн. |
| 250 | _a3-е изд., перераб. | ||
| 260 |
_aМосква : _bЭнергия, _c1970. |
||
| 300 | _a296 с. | ||
| 650 | 1 | 4 | _aПолупроводниковые приборы |
| 999 |
_c107395 _d107395 |
||
| 942 | _cBK | ||