| 000 | 00911nam a2200205 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 001185299 | ||
| 003 | AM-YeNLA | ||
| 005 | 20190508163650.0 | ||
| 008 | 141120s1972 ru ||| r|||| 000 0 rus d | ||
| 040 | _aAM, NCIE | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 100 | 1 | _aИльин, Г.Д. | |
| 245 | 1 | 0 |
_aНапыление диэлектрических и проводящих покрытий в низкотемпературной плазме / _cГ.Д. Ильин; ИТМ и ВТ АН СССР. |
| 260 |
_aМосква : _bИТМ и ВТ АН СССР, _c1972. |
||
| 300 |
_a66 с. : _bрис. |
||
| 504 | _aБиблиогр.: с. 63 - 65 (24 назв.) | ||
| 650 | 1 | 4 | _aТехнология механообработки в целом |
| 653 | 2 | _aэлектровакуумные приборы | |
| 710 | 2 | _aИнститут точной механики и вычислительной техники АН СССР | |
| 999 |
_c1033086 _d1033086 |
||