000			00988nam a2200193 a 4500
001			001181829
003			AM-YeNLA
005			20190508163517.0
008			161013s1977 ||| r 000 0 rus d
040			_aAM-YeHGA
041	0		_arus
245	0	0	_aТехнологические процессы и оборудование, используемые в производстве микросхем : _bУчебное пособие / _cЛенингр. электротехн. ин-т им. В.И. Ульянова (Ленина); Под ред.: В.В. Игнатьева.
260			_aЛенинград : _bЛЭИ, _c1977.
300			_a89 с. : _bил.
504			_aБиблиогр.: с. 88
653	0		_aГибридные интегральные микросхемы
700	1		_aИгнатьев, Всеволод Валентинович _eред. _4edt
710	2		_aЛенинградский электротехнический институт им. В.И. Ленина
999			_c1030459 _d1030459