| 000 | 01015nam a2200205 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 001170753 | ||
| 003 | AM-YeNLA | ||
| 005 | 20190508162922.0 | ||
| 008 | 160822s1977 ||| r 000 0 rus d | ||
| 040 | _aAM-YeHGA | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 100 | 1 | _aТихонов, Юрий Николаевич | |
| 245 | 1 | 0 |
_aФизико-химические основы полупроводникового и микроэлектронного производства : _bУчебное пособие / _cТихонов Ю.Н.; Моск. ин-т радиотехники, электроники и автоматики. |
| 260 |
_aМосква : _bБ. и., _c1977. |
||
| 300 |
_a116 с. : _bил. |
||
| 504 | _aБиблиогр.: с. 116 | ||
| 653 | 0 | _aПолупроводники - Производство | |
| 653 | 0 | _aМикроэлектронные схемы - Производство | |
| 710 | 2 | _aМосковский институт радиотехники, электроники и автоматики | |
| 999 |
_c1022071 _d1022071 |
||