Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях / : Учебное пособие / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. С. П. Тимошенкова.
Նյութի տեսակ։ ՏեքստԼեզու: Ռուսերեն Մատենաշար։ НанотехнологииՀրատարակման մանրամասներ։ Москва : Бином. Лаб. знаний, 2010.Նկարագրություն։ 283 с. : ил., таблISBN:- 978-5-9963-0032-7
Նյութի տեսակ | Ընթացիկ գրադարան | Հավաքածու | Դարակային համար | Վիճակ | Նշումներ | Վերադարձի ամսաթիվ | Շտրիխ կոդ | |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Book | Fundamental Scientific Library | General | PII/655705 (Դիտման դարակ(Բացվում է ներքևում)) | Հասանելի | 30 Days Loan | FL0187230 |
Библиогр.: с. 275-280
Այս վերնագրի համար չկան մեկնաբանություններ։
Մուտք գործիր քո հաշիվ ուղարկել մեկնաբանություն։