Создание управляющих микроприборов физико-химическими методами : Прецизионные физико-химические процессы в производстве микроэлектронной аппаратуры /
Б.Ф. Ормонт, В.И. Смирнов.
- Москва : Знание, 1977.
- 64 с. : ил.
- Новое в жизни, науке, технике Химия 4, 1977 .