TY  - BOOK
AU  - Павлов,П.В.
ED  - Горьковский университет им. Н.И. Лобачевского
TI  - Физические основы ионно-лучевого легирования: Материалы научной конференции (июнь, 1971 г., Горький) 
PY  - 1972///
CY  - Горький
PB  - Б. и.
KW  - Полупроводники - Легирование ионное - Сборники
N1  - Ч. 1 (1972, 160 с., ил.); Ч. 2 (1972, 165-256 с., ил.)
ER  -