Физические основы ионно-лучевого легирования :  Материалы научной конференции (июнь, 1971 г., Горький) / 
Редкол.: П.В. Павлов и др.; Горьк. гос. ун-т им. Н.И. Лобачевского. 
 - Горький :  Б. и.,  1972. 
 - часть. 
<br/><br/> Ч. 1 (1972, 160 с., ил.)  Ч. 2 (1972, 165-256 с., ил.) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Полупроводники - Легирование ионное - Сборники