TY  - BOOK
AU  - Ефимов,Иван Ефимович
AU  - Козырь,Иван Яковлевич
AU  - Горбунов,Юрий Иванович
TI  - Микроэлектроника: Физические и технологические основы, надежность : Учебное пособие 
PY  - 1986///
CY  - Москва
PB  - Высш. шк
KW  - Микроэлектроника - Учебники и пособия
N1  - Библиогр.: с. 458
ER  -