TY - BOOK AU - Бузанева,Евгения Викторовна TI - Микроструктуры интегральной электроники SN - 5-256-00419-0 PY - 1990/// CY - Москва PB - Радио и связь KW - Микроэлектронные схемы интегральные - Элементная база N1 - Библиогр.: с. 289-298 (171 назв.) ER -