Бузанева, Евгения Викторовна Микроструктуры интегральной электроники / Е.В. Бузанева. - Москва : Радио и связь, 1990. - 303,[1] с. ил. ; 22 см. Библиогр.: с. 289-298 (171 назв.) ISBN: 5-256-00419-0 Subjects--Topical Terms: Микроэлектронные схемы интегральные - Элементная база