TY  - BOOK
AU  - Красовская,Л.А.
ED  - Материалы Всесоюзной научно-технической конференции
TI  - Электронная литография и ее применение в микроэлектронике: (Материалы Всесоюзной научно-технической конференции, 23-24 октября 1975 г., Москва) 
PY  - 1976///
CY  - Москва
PB  - Электроника
KW  - Микроэлектроника
ER  -