Электронная литография и ее применение в микроэлектронике :  (Материалы Всесоюзной научно-технической конференции, 23-24 октября 1975 г., Москва) / 
Под ред. Л.А. Красовская. 
 - Москва :  Электроника,  1976. 
 - 53 с. 
 - Микроэлектроника  1(53) .
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Микроэлектроника