TY  - BOOK
AU  - Моро,Уэйн
TI  - Микролитография: Принципы, методы, материалы : В 2-х ч. 
SN  - 5-03-001372-5
PY  - 1990///
CY  - Москва
PB  - Мир
KW  - Микролитография
N1  - Ч. 1 (1990, 605 с., ил., список лит. с. 595-602); Пер. с. англ., под ред. Р.Х. Тимерова; Ч. 2 (1990, 632 с., ил., списки лит. в конце глав); Пер. с. англ. Д.Ю. Зарослова, под ред. Р.Х. Тимерова; Оригинал на англ.; Editors: Julius J. Muray and Ivor Brodie -; New York and London : Plenum Press : 1988
ER  -