Моро, Уэйн <br/><br/>
Микролитография :  Принципы, методы, материалы : В 2-х ч. / 
У. Моро. 
 - Москва :  Мир ,  1990. 
 - 2 ч.  ил. 
<br/><br/> Пер. с. англ., под ред. Р.Х. Тимерова  Пер. с. англ. Д.Ю. Зарослова, под ред. Р.Х. Тимерова  Ч. 1 (1990, 605 с., ил., список лит. с. 595-602) :  Ч. 2 (1990, 632 с., ил., списки лит. в конце глав) : 
<br/><br/>
<br/><br/><label>ISBN: </label>5-03-001372-5 0-306-42185-2 (англ.) 5-03-001716-X (русск.) 5-03-001717-8 (русск.) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Микролитография