Геллер, Исаак Хаимович <br/><br/>
Технология производства полупроводниковых элементов :  (Конспект лекций) / 
И.Х. Геллер; Ред. А.Н. Подмарьков; Моск. энерг. ин-т. Кафедра электротехн. материалов и кабелей. 
 - Москва :  МЭИ,  1975. 
 - часть. 
<br/><br/> Ч. 1 (1975, 122 с., ил.) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Полупроводниковые приборы - Технология