Методы контроля нарушенных слоев при механической обработке монокристаллов / 
[А.И. Татаренков, К.Л. Енишерлова. Т.Ф. Русак, В.Н. Гриднев]. 
 - Москва :  Энергия ,  1978. 
 - 64 с. 
 - Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры  Вып. 13 .
<br/><br/><label>ISBN: </label> 0.20 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Электротехника