TY  - BOOK
AU  - Геворкян,В.А.
ED  - Российско-Армянский (Славянский) университет
ED  - Институт математики и высоких технологий,
TI  - Основы технологии электронной компонентной базы: Получение тонкопленочных материалов методом магнетронного распыления и термовакуумного напыления : Учебно-методическое пособие по лабораторным работам 
SN  - 978-9939-67-112-3
PY  - 2015///
CY  - Ереван
PB  - РАУ
KW  - Техника в целом
KW  - Электроника
KW  - Методическое пособие
KW  - Наноэлектроника
N1  - Библиогр.: с. 50 (5 назв.)
ER  -