Зорин, Евгений Иванович <br/><br/>
Ионное легирование полупроводников / 
Е.И. Зорин, П.В. Павлов, Д.И. Тетельбаум. 
 - Москва :  Энергия,  1975. 
 - 128 с. 
 - Б-ка радиотехнолога  Вып. 6 .
<br/><br/>Библиогр.: с. 120-128 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Полупроводниковые приборы