TY  - BOOK
AU  - Дубовой,Н.Д.
ED  - Московский институт электронной техники
TI  - Автоматизация оборудования и технологических процессов в микроэлектронике: Сборник научных трудов [по проблемам микроэлектроники] 
PY  - 1979///
CY  - Москва
PB  - МИЭТ
KW  - Микроэлектроника - Сборники
N1  - Библиогр. в конце работ
ER  -