Автоматизация оборудования и технологических процессов в микроэлектронике :  Сборник научных трудов [по проблемам микроэлектроники] / 
Моск. ин-т электрон. техники; Науч. ред. Н.Д. Дубовой. 
 - Москва :  МИЭТ,  1979. 
 - 161 с. :  ил. 
<br/><br/>Библиогр. в конце работ 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Микроэлектроника - Сборники