Активируемые процессы технологии микроэлектроники :  Сборник научных трудов / 
Московский ин-т электронной техники; Отв. ред.: Ю.Д. Чистяков. 
 - Таганрог :  Таганрогского радиотехнического ин-та ,  1980. 
 - 124 с. 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Микроэлектронные схемы - Производство - Сборники