TY  - BOOK
AU  - Сазонов,А.А.
ED  - Московский институт электронной техники
TI  - Автоматические приборы и оборудование в микроэлектронике: Сборник научных трудов 
PY  - 1981///
CY  - Москва
PB  - МИЭТ
KW  - Микроэлектроника
KW  - Микроэлектронные схемы электронные - Производство - Автоматизация
KW  - Автоматизация - Микроэлектронные схемы электронные - Производство
N1  - Библиогр. в конце ст
ER  -