TY  - BOOK
AU  - Гаряинов,Станислав Александрович
TI  - Диэлектрическая изоляция элементов интегральных схем
PY  - 1975///
CY  - Москва
PB  - Сов. радио
KW  - Интегральные схемы
N1  - Библиогр.: с. 119-120
ER  -