Гаряинов, Станислав Александрович Диэлектрическая изоляция элементов интегральных схем / С.А. Гаряинов. - Москва : Сов. радио, 1975. - 120 с. - Массовая б-ка инженера. Электроника . Библиогр.: с. 119-120 Subjects--Index Terms: Интегральные схемы