TY - BOOK AU - Ижмякова,Л.Ф. AU - Шеглова,В.В. ED - Министерство электронной промышленности СССР TI - Системы металлизации к кремниевым полупроводниковым приборам и интегральным схемам: Отечественная и иностранная литература за 1969-1973 гг. 350 названий PY - 1974/// CY - М. PB - Б. и. KW - Отраслевая и тематическая библиография ER -