TY  - BOOK
AU  - Протопопова,Т.Н.
ED  - Министерство электронной промышленности СССР
TI  - Получение тонких пленок методом катодного распыления: Отечественная и зарубежная литература за 1966-1970 (май) гг. Тематические указатели литературы 
PY  - 1970///
CY  - Б. м.
PB  - Электроника
KW  - Отраслевая и тематическая библиография
ER  -