Получение тонких пленок методом катодного распыления : Отечественная и зарубежная литература за 1966-1970 (май) гг. Тематические указатели литературы /
Сост. Т.Н. Протопопова; Мин. электр. промышл. СССР.
- Б. м. : Электроника, 1970.
- 27 с. ; 22 см.
- Серия: Технология и организация производства Вып. 11(131) .