TY  - BOOK
AU  - Ижмякова,Л.Ф.
AU  - Щеглова,В.В.
ED  - Министерство электронной промышленности СССР
TI  - Металлические пленки в производстве полупроводниковых приборов: Отечественная и иностранная литература за 1969-1974 гг. (369 назв.) 
PY  - 1975///
CY  - Москва
PB  - ЦНИИ "Электроника"
KW  - Отраслевая и тематическая библиография
ER  -